（以下内容从东吴证券《半导体设备&零部件行业2024年报&2025一季报总结：业绩持续高增，看好自主可控趋势下国产替代加速》研报附件原文摘录）
收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取14家半导体设备行业**标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【中科飞测】和4家半导体零部件行业**标的【英杰电气】【汉钟精机】【新莱应材】【富创精密】。1）收入端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现营业收入732.2/177.4亿元，同比 33/ 37%；四家半导体零部件企业合计实现营业收入113.4/24.7亿元，同比 9/-6%；2）利润端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现归母净利润119.0/25.8亿元，同比 15/ 37%，四家半导体零部件企业合计实现归母净利润16.1/2.0亿元，同比-5/-45%；3）费用端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业期间费用率为34.7/38.9%，同比 0.5/-5.2pct，2024&2025Q1四家半导体零部件企业期间费用率为15.8/18.9%，同比-0.3/ 2.4pct；4）订单方面：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合同负债合计分别为192.1/199.1亿元，同比 14.1/ 6.3%，2024&2025Q1四家半导体零部件企业合同负债合计为14.1/14.4亿元，同比-12.8/-13.8%。
看好自主可控趋势下，设备&零部件国产替代加速。1）先进逻辑/存储厂商持续扩产，叠加先进制程设备继续突破放量，看好逻辑&存储厂商扩产带来半导体设备&零部件需求上升；2）国产半导体设备商均开启平台化布局，北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海均有全新品类设备亮相，看好半导体设备公司平台化加速，不断拓宽产品种类打造一体化解决方案；3）半导体设备国产化率仍有较大空间，看好半导体设备公司差异化竞争，国产替代逻辑仍然生效；4）受益于AI芯片浪潮加速，看好下游封测设备起量，特别是测试设备国产化进程顺利，有望实现国产化替代放量。
投资建议：**推荐前道平台化设备商【北方华创】【中微公司】，低国产化率环节设备商【芯源微】【中科飞测】【精测电子】，薄膜沉积设备商【拓荆科技】【微导纳米】，后道封装测试设备【华峰测控】【长川科技】【迈为股份】；零部件环节【新莱应材】【富创精密】【晶盛机电】【英杰电气】【汉钟精机】。风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。
